|
|
|
|
|
|
真 发 舟 制 作 工
艺 和 样 品 图 |
性 能 |
|
二种主要原料BN和TiB2.
|
|
将原材料根据客户要求的电阻率按比例混合加热到 1900°C 以上同时加压1800 PSI
. |
|
最后切割成块,再根据客户要求的尺寸经精密机加工制成蒸发舟 |
|
满足现代所有真空金属化工艺生产要求 电阻率(冷态)在200 – 1400 MOC范围
可选 低含氧量——耐高温——高蒸发率 高密度——寿命长 镀膜均匀 低热膨胀系数——热膨胀小 低吸湿性能——容易存放 最小爆裂温度
2000°C 蒸发率高 操作中蒸发舟损坏率低 蒸发槽可经过特殊处理——增加熔化金属扩散能力
提高金属镀膜均匀性 |
|
 GEAC（IMC）蒸发舟技术标准: 导电的二硼化钛粉与非导电的氮化硼粉混合加热到
1900°C以上同时加压1800 psi 制造而成。 |
IMC蒸发舟与其它材料电阻率比较
| 材料 |
电阻率(ohm-cm) |
| 铝 |
2.65 x 10ˆ-6 |
| 铜 |
1.67 x 10ˆ-6 |
| 硅酮(含杂质) |
10 x 10ˆ-6 |
| 氧化铝 |
10ˆ11-10ˆ14 |
| IMC蒸发舟 |
200-1400 x 10ˆ-6 |
|
主要参数
| 尺寸误差 |
毫米 |
| 长度 |
+0.25/-0.00 |
| 宽度 |
+0.05/-0.05 |
| 厚度 |
+0.25/-0.00 |
| 槽深 |
+0.127/-0.127 |
| 电阻率 |
200-1400
M-O-C +/-50 M-O-C |
| 抗弯强度 |
20,000 PSI
@ Room Temp. |
| 洛氏强度 |
123 R-Scale |
| 理论密度 |
95% |
| 热膨胀系数 |
7.0x 10ˆ6mm/mm/°C |
| 永久膨胀 |
0.08% |
|
|
|
