气体流量控制器简介

气体质量流量控制器图列

用途和性能

　　　布鲁克斯5850E气体质量流量控制器流量范围：0-30slpm
输入/输出信号：0-5V直流电压
特性：快速反映
高稳定性
可更换的传感器
常开或常闭阀门任选

E-系列质量流量控制器
规格	型号	流量范围	准确度	最大压力 bar psig	最大温度 C F	输入/输出	电源电压
气体质量流量控制器	5850E/51E/53E	3 sccm- 1000 slpm	1%FS	100 1500	65 150	0-5Vdc	+/-15Vdc
气体质量流量表	5860E/61E/63E	3 sccm- 1000 slpm	1%FS	100 1500	65 150	0-5Vdc	+/-15Vdc
气体质量流量控制器	5850TR	10 sccm- 20 slpm	1%FS	100 1500	65 150	0-5Vdc, 4-20mA	15/24Vdc
标准结构为316不锈钢。
*标准温度及压力下氮气等效流量。标准00及101kPa。定货时可按用户要求标准。

布鲁克斯新型数字式气体质量流量计/控制器

SMART5800S 系列ISO-9001 Certified

* 紧凑型设计, 测量/控制范围 3mln/分钟– 2500 ln/分钟

* 高精确度,重复性和温度补偿性

* 高适应性的控制系统确保在不同工艺状态下快速稳定控制气体流量

* 长期可靠性, 可忽略的零飘移

* 可编程的PID控制, 输入/输出和报警

* Smart技术, 提供弹性, 金属和超高洁净(UHP)密封

* Smart技术, 可选择模拟信号输入/输出和数字通信(RS232/RS485), 数字通信可与大部分Windows操作系统兼容

*安装简便, 可自我监控和独立运作

*已在不同行业和工艺状态下被大量采用

办公地址：上海市金桥出口加工区金藏路258号T20-4二层(201206) TEL:021 50328660 50328661 FAX:50328662